波面干涉测量中的可变像差补偿技术

作     者：陈善勇 卢劲丰 薛帅 Chen Shanyong;Lu Jinfeng;Xue Shuai

作者机构：国防科学技术大学机电工程与自动化学院湖南长沙410073 

基　　金：国家自然科学基金(51375488) 湖南省自然科学杰出青年基金(2016JJ1003) 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2017年第54卷第4期

页      码：51-62页

摘      要：以非球面为代表的复杂面形在现代光学系统中的应用越来越广泛,因为它比球面提供了更多的设计自由度,可用更少的元件达到更优的成像质量。然而非球面的多样性也带来了面形测量的难题,传统的零位测试没有灵活适应不同面形的能力。可变像差补偿技术对于提高检测柔性和效率具有重要意义。针对回转对称非球面的球差补偿,分析了部分补偿透镜、相位板组合和高次非球面单透镜等可变补偿方案;针对离轴非球面的像差补偿,分析了倾斜球面系统、Risley棱镜和双回转相位板的可变补偿方案;进而介绍了变形镜和空间光调制器(SLM)作为可编程补偿器用于波面干涉测量的研究进展。最后指出可变像差补偿技术面临的大范围和多模式像差补偿、回程误差补偿以及失调像差解耦三个主要问题。

主 题 词：测量 面形测量 可变像差 像差补偿 近零位测试 非球面 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/LOP54.040004

馆 藏 号：203230380...