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大口径高精度液体静压转台研制

大口径高精度液体静压转台研制

作     者:吴媛媛 李彬 赵惠英 WU Yuanyuan LI Bin ZHAO Huiying

作者机构:中原工学院信息商务学院机械工程系河南郑州451191 中原工学院机电学院河南郑州451191 西安交通大学机械工程学院陕西西安710049 

基  金:陕西省科学技术研究发展项目(2014K07-09) 河南省高等学校重点科研项目(16A460030) 河南省自然科学基金项目(152102410057) 河南省教育厅科技攻关项目(12B460030) 

出 版 物:《制造技术与机床》 (Manufacturing Technology & Machine Tool)

年 卷 期:2017年第5期

页      码:90-94页

摘      要:介绍了一种用于大口径非球面镜超精密数控磨床的高精度液体静压转台部件,通过工艺可行性分析和精度传递模型给出了优化的转台结构;采用数值列举法给出了径向和轴向刚度与油膜厚度的设计参数;为考察油膜压力作用下零件变形对转台刚度的影响,采用流固耦合分析方法对零件的强度进行了校核;利用直径为40 mm,圆度为0.05μm的标准球和电感测微仪对回转工作台的径向和轴向跳动进行了测试试验,得到回转工作台轴向和径向误差均小于0.5μm。

主 题 词:高精度液体静压转台 刚度设计 数值列举 流固耦合 

学科分类:081203[081203] 08[工学] 0835[0835] 0812[工学-测绘类] 

D O I:10.19287/j.cnki.1005-2402.2017.05.016

馆 藏 号:203230635...

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