移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定

作     者：宋莹 赵旭龙 姜岩秀 巴音贺希格 齐向东 Song Ying;Zhao Xulong;Jiang Yanxiu;Bayanheshig;Qi Xiangdong

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光栅技术研究中心吉林长春130033 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家自然科学基金国家重大科研仪器设备研制专项(61227901) 国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ120023) 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2017年第44卷第5期

页      码：227-234页

摘      要：为了提高全息光栅曝光系统的曝光对比度,抑制外部环境变化引起的曝光干涉条纹漂移,提出了一种移栅型干涉条纹锁定方法。采用分束光栅实现光源激光的分光及干涉条纹的相位调整。通过叠栅条纹间接测量干涉条纹相位变化,给出了双光电探测器的最佳探测位置。结合分光及相位调整功能,给出了分束光栅参数的设计方法。针对光栅曝光特点设计了控制器。从理论上对比了分束光栅与压电反射镜的相位调整性能。实验结果表明,采样频率为500Hz时,干涉条纹的低频漂移得到有效抑制,相位锁定精度达到0.13rad(3σ),即条纹漂移量低于±0.021个周期。该方法可以实时有效地锁定曝光干涉条纹,提高曝光对比度。且分束光栅偏转对条纹周期影响小,相位调整性能仅与分束光栅参数相关,便于光路设计。

主 题 词：全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/CJL201744.0509001

馆 藏 号：203231630...