柔性阵列式声表面波微力传感器的研究

作     者：王俊 李媛媛 WANG Jun;LI Yuan-yuan

作者机构：上海工程技术大学电子电气工程学院 

基　　金：上海工程技术大学研究生科研创新项目(E3-0903-16-01182) 

出 版 物：《化工自动化及仪表》 (Control and Instruments in Chemical Industry)

年 卷 期：2017年第44卷第5期

页      码：466-471,477页

摘      要：主要研究柔性阵列式声表面波微力传感器,进行两个金属或者非金属物体以及其间若干局部弹性介质接触面(厚度在1~5mm)间接触微压力(0.0~0.2N)的检测,根据基片结构所受应力变化使用有限元分析法进行受力分析,同时设计柔性阵列式传感器基片,确定边界条件,建立其线性回归数学模型并进行曲线拟合。该器件能够在特殊测量环境下满足力敏原件自由弯曲的特性,并且能够在恶劣环境下进行无源无线通信,在测量压力时具有抗干扰能力强、精度高且分辨率高的特性,可广泛应用于接触式测量、无损检测、机器人及生物力学等领域。

主 题 词：传感器 接触微压力 柔性阵列式 声表面波 有限元分析 无源无线 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-3932.2017.05.010

馆 藏 号：203231820...