G2.5 ODF线前工序设备自主开发浅析

作     者：闫俊伟 高浩然 

作者机构：京东方科技集团股份有限公司北京100176 

出 版 物：《中国设备工程》 (China Plant Engineering)

年 卷 期：2017年第10期

页      码：101-102页

摘      要：本项目利用闲置的Loader单元、清洗单元、HPCP单元等三个独立单元,通过改造升级构建成ODF线前工序IN-Line设备包括Indexer、清洗单元、HP/CP单元,全套设备采用三菱PLC及三菱HMI控制,经过总体方案设计、功能开发、PLC及触摸屏程序开发、Interface信号设计、调试等,实现ODF工艺需求基板的加载、清洗、HPCP功能。并与新购的ODF线主体设备对接调试,共同构成ODF In-Line线,满足实验需求。

主 题 词：ODF线 前工序设备 三菱PLC 自主开发 

学科分类：0202[经济学-财政学类] 02[经济学] 020205[020205] 

馆 藏 号：203231934...