晶体生长炉用大电流电源设计

作     者：何雅琴 耿浩然 HE Yaqin;GENG Haoran

作者机构：常州机电职业技术学院信息工程学院江苏常州213164 

基　　金：江苏省青蓝工程资助项目(苏教师(2016)15号) 江苏省高校优秀中青年教师和校长境外研修计划资助项目(苏教师(2014)22号) 

出 版 物：《实验室研究与探索》 (Research and Exploration In Laboratory)

年 卷 期：2017年第36卷第4期

页      码：60-63页

摘      要：采用主从式结构,设计了一种晶体生长炉用大电流电源。每条支路分别为系统提供电流,通过汇流排把每条支路电流汇总后为晶体生长炉工作提供相应电流。每条支路采用PID算法控制PWM模块的输出电压,保证了每条支路输出电流的一致性,符合电源并联均流的要求。系统经过测试,该电源每条支路输出的电流稳定可靠、误差小,能够满足晶体生长炉工作对电源的要求。

主 题 词：晶体生长炉 大电流 并联 均流 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 081001[081001] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1006-7167.2017.04.016

馆 藏 号：203231976...