OLED封装材料气体渗透率的静态积累式进样质谱法测量

作     者：吴启鹏 付朝晖 李军建 王春勇 WU Qi-peng;FU Zhao-hui;LI Jun-jian;WANG Chun-yong

作者机构：兰州空间技术物理研究所兰州730000 电子科技大学光电信息学院成都610054 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2017年第54卷第3期

页      码：32-36页

摘      要：如何测量封装材料的气体渗透率是OLED封装技术研究中的一个重要问题。本文提出了静态积累式进样质谱法来测量OLED封装材料的气体渗透率,设计了静态积累式进样质谱法测量系统,对柔性OLED封装材料PET薄膜的气体渗透率进行了测量,并分析了测量系统的灵敏度,结果表明,静态积累式进样质谱法测量OLED封装材料气体渗透率是可行的,且渗透时间为100天时,静态积累式进样质谱法对水蒸气的测量灵敏度可达4×10^(-5)g/m^2day。如果渗透时间进一步延长,静态积累式进样质谱法的测量灵敏度有望达到理想的1 10^(-6)g/m^2·day量级。对比动态抽除式进样质谱法,静态积累式进样质谱法的灵敏度提高了1-2个数量级,有效提升了质谱法的灵敏度。

主 题 词：质谱法 静态积累式进样 OLED封装材料 灵敏度 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.2017.03.08

馆 藏 号：203232130...