射频离子源朗缪尔双探针设计

作     者：李京勇 刘智民 谢亚红 陈俞钱 顾玉明 胡纯栋 Li Jingyong;Liu Zhimin;Xie Yahong;Chen Yuqian;Gu Yuming;Hu Chundong

作者机构：中国科学院等离子体物理研究所合肥230031 中国科学技术大学科学岛分院合肥230026 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(11405207 11505224 11505225) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2017年第37卷第5期

页      码：484-487页

摘      要：射频离子源具有的复杂电磁环境会干扰甚至使得朗缪尔单探针无法准确获得等离子体参数。双探针具有对等离子体的干扰较小,不需要参考电位等优点,因此更加适用于射频离子源下的等离子体诊断。为了使得朗缪尔双探针更加精确地测量电子温度与离子密度,必需在测量电路中增加针对干扰源频率的滤波电路系统。本文针对射频离子源等离子体诊断设计了探针测量电路,并进行了仿真计算和分析,结果表明:探针的抗干扰能力与测量精度均具有明显的改善。

主 题 词：朗缪尔探针 等离子体 射频 谐振电路 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 082701[082701] 0827[工学-食品科学与工程类] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2017.05.08

馆 藏 号：203232343...