高Q值环形波导微谐振腔研究进展

作     者：晋玉剑 薛晨阳 丑修建 刘俊 张文栋 JIN Yujian;XUE Chenyang;CHOU Xiujian;LIU Jun;ZHANG Wendong

作者机构：中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室电子测试技术重点实验室太原030051 

基　　金：国家自然科学基金(61076111 60778029) 国家973前期预研项目(2009CB326206) 山西省研究生优秀创新项目(20103083) 

出 版 物：《材料导报》 (Materials Reports)

年 卷 期：2011年第25卷第13期

页      码：65-69页

摘      要：基于高Q值环形波导微谐振腔和微加工工艺的微光机电器件及系统是当前微纳制造科学和量子光学技术领域的研究热点。主要分析了环形波导微谐振腔的物理作用及应用价值,系统综述了环形波导微谐振腔Q值的测量方法,重点讨论了硅基环形波导微谐振腔Q值的影响因素,从材料、结构设计、加工工艺方面分析了提高环形波导微谐振腔Q值的技术途径,指出了当前高Q值环形波导微谐振腔研究存在的技术瓶颈问题,并展望了未来的发展趋势。

主 题 词：光波导 微谐振腔 高Q值 微光机电系统 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

馆 藏 号：203232385...