电子学与电子工程

出 版 物：《电子科技文摘》 (Sci.& Tech.Abstract)

年 卷 期：2001年第4期

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摘      要：SPIE-Vol.3680 01054051999年 SPIE 会议录,卷3680:微电机械系统与微光机械系统设计、测试与微制造=1999 proceedings ***.3680:design,test,and microfabrication ofMEMS and MOEMS[会,英]/SPIE-The InTernationalSociety for Optical Engineering.—1999.—1192P.(PC)

主 题 词：微电机械系统 微制造 机械系统设计 会议录 微机械加工 测试 微光 电子工程 微机电系统 电子学 

学科分类：0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203232512...