Nd:YAG晶体高精度切割加工试验研究

作     者：冯嫄嫄 赵惠英 徐世栋 班新星 刘文涛 李彬 FENG Yuanyuan;ZHAO Huiying;XU Shidong;BAN Xinxing;LIU Wentao;LI Bin

作者机构：中原工学院机电学院河南郑州451191 北京微纳精密机械有限公司北京101399 西安交通大学精密工程研究所陕西西安710049 

基　　金：国家自科学基金:基于全局尺寸的超精密气静压轴径向气膜厚度设计与控制技术研究(51475485) 河南省高等学校重点科研项目:硬脆材料元件低亚表面损伤的超精密磨削关键技术研究(16A460030) 

出 版 物：《制造技术与机床》 (Manufacturing Technology & Machine Tool)

年 卷 期：2017年第6期

页      码：152-156页

摘      要：利用环形电镀金刚石线切割机对Nd:YAG晶体进行了切割实验研究,分析了水平和旋转切割模式对晶体切割质量的影响,得出旋转切割更适合Nd:YAG的圆晶片加工,不仅可以提高晶体的加工表面质量,还大幅度减小了切割时间。采用正交法对旋转切割进行试验设计,研究不同切割参数对Nd:YAG晶体切割质量的影响规律。通过对试验结果进行分析,得出环形金刚石线切割Nd:YAG晶体的最优工艺参数,切割后的晶片经过工艺处理后可直接进行后续的抛光加工。

主 题 词：金刚石线切割机 YAG晶体 旋转切割 表面质量 

学科分类：12[管理学] 081702[081702] 1201[管理学-管理科学与工程类] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.19287/j.cnki.1005-2402.2017.06.025

馆 藏 号：203232540...