基于多孔硅Bragg反射镜的液体浓度测量方法

作     者：李志全 乔淑欣 蔡亚楠 王建军 张乐欣 LI Zhi-quan;QIAO Shu-xin;CAI Ya-nan;WANG Jian-jun;ZHANG Le-xin

作者机构：燕山大学电气工程学院光电检测技术研究室河北秦皇岛066004 燕山大学亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室河北秦皇岛066004 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60377002) 河北省博士基金资助项目 

出 版 物：《光学技术》 (Optical Technique)

年 卷 期：2006年第32卷第6期

页      码：863-864,868页

摘      要：提出了一种利用多孔硅Bragg反射镜(简称PSBR)的反射谱来测量液体浓度的新方法。当在PSBR的孔内浸入不同浓度的液体时,多孔硅的有效折射率会发生变化,从而引起PSBR反射谱峰位发生变化。利用脉冲腐蚀法制备PSBR,采用正交参数设计法优化实验参数。对其进行了浓度测量实验和验证实验,测量误差小于0.14%。

主 题 词：反射光谱 多孔硅Bragg反射镜(PSBR) 脉冲电化学腐蚀 正交方法 浓度测量 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1002-1582.2006.06.009

馆 藏 号：203232875...