高频响小体积三轴加速度计设计与实现

作     者：姜志国 陈玉玲 史岩峰 于洋 方贺兴 JIANG Zhi-guo;CHEN Yu-ling;SHI Yan-feng;YU Yang;FANG He-xing

作者机构：北京强度环境研究所北京100076 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2017年第36卷第5期

页      码：120-122,126页

摘      要：设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术的高频响三轴加速度计,内部集成滤波电路和放大电路,实现了传感器与变换器的一体化。电路设计简单可靠,功耗低,稳定性好。电路板的结构采用刚挠结合印制板的设计,保证了传感器输出的高精度和低噪声特性。整机结构体积小巧,刚性好,3个方向的频率响应均可以达到5 k Hz,实现了一个测点3个方向高频加速度参数的测量。通过性能指标校验和实验验证,证明传感器具有测量精度高、热灵敏度漂移小、横向效应低等优点,可应用于航空航天等领域。

主 题 词：微机电系统 加速度计 敏感芯体 频率响应 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2017)05-0120-03

馆 藏 号：203232959...