大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究

作     者：张方程 于海利 周敬萱 ZHANG Fang-cheng;YU Hai-li;ZHOU Jing-xuan

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 

基　　金：国家重大科研装备研制基金资助项目(ZBY2008-1) 吉林省重大科技攻关基金资助项目(09ZDGG005) 

出 版 物：《长春工业大学学报》 (Journal of Changchun University of Technology)

年 卷 期：2013年第34卷第2期

页      码：195-199页

摘      要：以内径1.1m的大尺寸中阶梯光栅镀膜机为例,设计了提高膜厚均匀性的修正挡板,并应用到了镀膜机中。在520mm×520mm的镀膜面积范围内,膜层厚度的均匀性误差从±6%降低至±0.96%,满足大尺寸中阶梯光栅研制的膜厚均匀性要求。

主 题 词：镀膜机 中阶梯光栅 膜层均匀性 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1674-1374.2013.02.016

馆 藏 号：203233218...