基于紫外厚胶的微悬臂结构设计与加工

作     者：赵龙 张斌珍 段俊萍 崔建利 ZHAO Long;ZHANG Bin-zhen;DUAN Jun-ping;CUI Jian-li

作者机构：电子测试技术重点实验室(中北大学)太原030051 

基　　金：国家自然科学基金(61401405) 51475438 山西省基础研究项目(2014011021-4) 新世纪优秀人才支持计划(130951862)资助 

出 版 物：《科学技术与工程》 (Science Technology and Engineering)

年 卷 期：2015年第35卷第30期

页      码：128-131页

摘      要：研究了一种以SU-8光刻胶为结构材料的微悬臂结构。通过控制紫外光刻过程中的曝光剂量,仅仅使光刻胶的上部分发生交联,下部分的光照强度不足以发生交联反应,制作了厚度从149μm到345μm不等的微悬臂结构,并通过分析得出了悬臂厚度与曝光剂量的关系式。结果显示,采用该方法所制作的悬臂结构具有质量轻、价格便宜、操作灵活性大等特点,为制作出复杂的三维空间悬臂结构奠定了基础。与传统以硅或金属材料为基础的微悬臂相比,能够更好地适应目前微型传感器的发展趋势,具有非常广阔的发展空间。

主 题 词：微悬臂梁 曝光剂量 SU-8 交联反应 紫外光刻 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-1815.2015.30.024

馆 藏 号：203233500...