三波长光干涉法测量磁盘/磁头纳米级气膜厚度

作     者：王红志 黄平 Wang Hongzhi;Huang Ping

作者机构：华南理工大学机械工程学院 

基　　金：国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716205) 

出 版 物：《润滑与密封》 (Lubrication Engineering)

年 卷 期：2006年第31卷第8期

页      码：8-10,14页

摘      要：给出三波长光干涉测量纳米级薄膜厚度的方法。通过对某负压磁头/玻璃盘空气薄膜的测试表明:三波长光干涉法具有精度高、容易实施等优点,能够满足磁盘/磁头润滑副设计、制造及研究的需要。

主 题 词：三波长 光干涉法 薄膜测量 磁头 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.0254-0150.2006.08.003

馆 藏 号：203233910...