基于相关拟合校准技术的MEMS平面微运动纳米精度测量

作     者：陈治 胡晓东 傅星 胡小唐 

作者机构：天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50505031) 国家高技术研究发展计划(863)资助项目(2006AA04Z327) 新世纪优秀人才支持计划项目 

出 版 物：《天津大学学报》 (Journal of Tianjin University(Science and Technology))

年 卷 期：2009年第42卷第6期

页      码：549-553页

摘      要：微电子机械系统(MEMS)谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数为MEMS器件的设计提供重要参考.提出一种基于相位相关技术的亚像素运动估计算法,可对相关拟合方法进行误差校准补偿,从而提高对物体运动的分辨力,实现纳米精度测量.利用该算法对MEMS器件的运动历程做分析,得到特定驱动频率下MEMS器件的幅度-相位曲线.利用扫频测量原理,获得了MEMS器件的幅频特性.实验结果表明,该方法具有较好的测量精度,测量分辨力优于***.

主 题 词：计量学 MEMS谐振器 动态特性 相位相关 亚像素 

学科分类：08[工学] 080402[080402] 0804[工学-材料学] 

核心收录：

馆 藏 号：203234292...