加速度传感器芯片湿法加工技术研究

作     者：张岩 尚瑛琦 王晓光 刘智辉 

作者机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150001 

出 版 物：《中国新技术新产品》 (New Technology & New Products of China)

年 卷 期：2013年第12期

页      码：29-30页

摘      要：本文主要研究了加速度传感器芯片的湿法加工技术,主要包括KOH腐蚀中凸角补偿图形设计,引线电极保护技术,TMAH腐蚀技术等内容。本文设计了合理的凸角补偿图形,能够制作出完整的凸角结构。本文结合实际工艺中遇到的问题,讨论了湿法加工技术中引线电极的保护方法,包括TMAH腐蚀技术的应用。制作出的加速度传感器芯片灵敏度大于0.1mV/g,非线性优于1%,横向灵敏度比小于3%。

主 题 词：加速度芯片 湿法腐蚀 KOH 凸角补偿 TMAH 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1673-9957.2013.12.025

馆 藏 号：203234602...