日盲探测宽波段低噪声滤波器件的研制

作     者：付秀华 郭凯 熊仕富 张静 孙兵 姜洪妍 Fu Xiuhua;Guo Kai;Xiong Shifu;Zhang Jing;Sun Bing;Jiang Hongyan

作者机构：长春理工大学光电工程学院吉林长春130022 

基　　金：吉林省重大科技攻关专项(20140203002GX) 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2017年第44卷第6期

页      码：165-171页

摘      要：为满足日盲探测系统的技术要求,研制了一种可以实现紫外日盲区(200~270nm)高透射、近紫外到近红外区(300~1200nm)深截止的光学滤光片。通过分析材料的光学特性,结合光学薄膜理论,优化膜系结构,设计了介质与金属组合的膜系。采用电子束加热蒸发的方法沉积金属膜,通过对沉积速率的实验研究,在保证金属光学性能的前提下,有效降低了膜厚控制误差。采用逆向反演法与膜层敏感度分析,对谐振层工艺参数进行优化,有效降低了谐振层的控制误差。该滤光膜在200~270nm波段的平均透射率达到51.21%,在300~1200nm抑制区的平均透射率为0.90%。

主 题 词：薄膜 滤光膜 日盲探测 控制误差 逆向反演 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/CJL201744.0603002

馆 藏 号：203236935...