基于PSD的腔体相对位移测量方法设计

作     者：焦新泉 杨文豪 储成群 李治华 李锐锐 JIAO Xinquan;YANG Wenhao;CHU Chengqun;LI Zhihua;LI Ruirui

作者机构：中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室电子测试技术重点实验室太原030051 

出 版 物：《电子器件》 (Chinese Journal of Electron Devices)

年 卷 期：2017年第40卷第4期

页      码：1005-1008页

摘      要：为了测量只能在侧壁安装检测装置的腔体间相对位移,设计了基于面光源的光位移传感器(PSD)位移测量系统。系统将PSD两路电信号的I-V转换、反向放大等信号调理在一片AD824处理,并采用对射式的检测方法,减小了系统体积,简化了结构设计。介绍了位移测量实现过程,并设计系统的标定工装,通过数据后处理方法减小测量误差,提高测量精度。实验结果表明,系统在30 mm量程范围内线性度好,可重复性高,工作在10 kHz不失真,可用于腔体振动等测量,具有很高的实用性。

主 题 词：非接触测量相 相对位移 PSD 面光源 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-9490.2017.04.042

馆 藏 号：203237042...