浮动电容式剪应力微传感器结构设计解析模型

作     者：丁光辉 马炳和 邓进军 苑伟政 Ding Guanghui;Ma Binghe;Deng Jinjun;Yuan Weizheng

作者机构：西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室西安710072 

基　　金：国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ40911) 

出 版 物：《实验流体力学》 (Journal of Experiments in Fluid Mechanics)

年 卷 期：2017年第31卷第3期

页      码：53-59页

摘      要：为提高设计水平和效率,建立了浮动电容式剪应力微传感器结构设计解析模型。该解析模型明晰了微传感器探头结构参数与传感器性能指标之间的关系。针对微传感器量程、固有频率、非线性度、灵敏度和分辨率等指标需求,能够更有针对性地快速得到优化传感器结构方案。结合设计案例,给出了微传感器探头结构的设计方法与流程,设计研制的传感器测试实验结果与解析模型的设计结果相符合。

主 题 词：电容式 剪应力 结构设计 解析模型 性能指标 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.11729/syltlx20170004

馆 藏 号：203237099...