基于材料去除的微制造技术发展

作     者：李莉 齐乐华 徐林峰 杨方 LI Li;QI Le-hua;XU Lin-feng;YANG Fang

作者机构：西北工业大学机电学院西安710072 

基　　金：航天支撑基金资助项目 

出 版 物：《机械设计与制造》 (Machinery Design & Manufacture)

年 卷 期：2005年第4期

页      码：88-90页

摘      要：这里将微机械制造技术分为材料去除技术、材料沉积(增材)制造技术和变形制造技术,对基于材料去除的微制造技术的原理、方法、特点、应用和发展现状进行了比较和综述,在此基础上对微制造技术的发展方向作出了预测。

主 题 词：材料去除 MEMS 微加工 

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3997.2005.04.041

馆 藏 号：203239313...