硅基微静电马达

作     者：孙夕庆 李志坚 刘理天 

作者机构：清华大学微电子学研究所 

出 版 物：《电子学报》 (Acta Electronica Sinica)

年 卷 期：1995年第23卷第2期

页      码：22-25页

摘      要：本文介绍了硅基微静电马达的设计考虑、制作工艺和测量结果，该马达结构上的改进主要体现在两方面：通过在微马达转子的下面集成光伏器件实现了对马达转速的片内检测，这对于研究微马达动力学和构成ＭＥＭＳ有着重要的意义；利用复合膜牺牲层技术制成了一种锥状轴承，该轴承能够减小马达的摩擦力矩，微静电马达转子直径分１００μｍ和１２０μｍ两种，定子与转子极之间的空气间隙有２μｍ、３μｍ和４μｍ三种。初步测量结果表明该马达的最小启动电压为９３Ｖ，最高平衡转速达２３９ｒｐｓ。

主 题 词：微电机 电动机 微电机械系统 硅基 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

核心收录：

馆 藏 号：203239392...