宽调谐范围垂直腔面发射激光器特性分析及设计

作     者：关宝璐 郭霞 杨浩 梁庭 顾晓玲 郭晶 邓军 高国 沈光地 Guan Bao-Lu;Guo Xia;Yang Hao;Liang Ting;Gu Xiao-Ling;Guo Jing;Deng Jun;Gao Guo;Shen Guang-Di

作者机构：北京工业大学电子信息与工程控制学院北京市光电子技术实验室北京100022 

基　　金：国家自然科学基金(批准号:60506012) 国家重点基础研究发展规划(批准号:2006CB604902) 霍英东教育基金(批准号:101062) 北京市科技新星计划(批准号:2005A11) 北京市优秀人才强教计划(批准号:20051D0501502) 北京市自然科学基金(批准号:KZ200510005003) 全国优秀博士学位论文作者专项基金(批准号:200542) 国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA03A121)资助的课题.~~ 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2007年第56卷第8期

页      码：4585-4589页

摘      要：运用光学传输矩阵和有限元方法对波长可调谐垂直腔面发射激光器(VCSELs)的波长调谐范围进行了研究.对中心波长为980nm的可调谐VCSELs的波长调谐特性和微电子机械系统(MEMS)悬臂梁结构进行了设计,并进行了实验研究.结果表明,MEMS可调谐VCSELs调谐特性同时受到光波谐振腔结构和悬臂梁最大位移的共同影响.在悬臂梁几何尺寸和激光器有源区结构一定的条件下,通过优化可调谐VCSELs的牺牲层厚度可实现大范围波长调谐.同时,对可调谐VCSELs整体结构进行了设计,计算结果显示波长调谐范围达到30nm以上,调谐效率达到0.12,调谐过程中所有激射波长都处在InGaAs/GaAs量子阱高增益区.

主 题 词：悬臂梁 可调谐垂直腔面发射激光器 宽调谐范围 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 0704[理学-天文学类] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.7498/aps.56.4585

馆 藏 号：203240006...