泰曼-电视-微机系统非球面面形测试

作     者：徐斌 王文生 

作者机构：长春光学精密机械学院光电工程系长春130022 

出 版 物：《测试技术学报》 (Journal of Test and Measurement Technology)

年 卷 期：1996年第10卷第3期

页      码：448-452页

摘      要：本文用He-Ne激光器作光源,把电视摄相机(或CCD摄相机)和微机与泰曼-格林干涉仪结合,组成泰曼-电视-微机系统。利用法线象差补偿法检测非球面面形的原理,根据三个干涉图法,对非球面面形自动扫描、分析,并在计算机的监视器上绘制出被检非球面面形的二维等高线图和三维面形。为了扩大测试范围,设计了万能补偿器,可检测一定范围的抛物面,补偿精度可达0.01λ,也可检测椭圆面和双曲面。

主 题 词：非球面 补偿法 摄相机 计算机 补偿精度 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 081001[081001] 

馆 藏 号：203241838...