二次电子能量分析器

作     者：余健业 刘绪平 黄兰友 

作者机构：中国科学院科学仪器厂 

出 版 物：《电子显微学报》 (Journal of Chinese Electron Microscopy Society)

年 卷 期：1992年第11卷第2期

页      码：144-151页

摘      要：本文简明地讨论了二次电子能量分析器的基本原理和设计要点。介绍了我们的实验系统和初步的实验结果,达到了优于10毫伏的电压分辨率。

主 题 词：VLSI 检测 电子能量 分析仪 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

馆 藏 号：203244108...