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压电微作动器相位特性分析与改进

压电微作动器相位特性分析与改进

作     者:杜正春 杨建国 姚振强 

作者机构:上海交通大学机械工程学院上海200030 

基  金:国家自然科学基金资助项目(50075054) 江苏省科委应用基础研究资助项目(BJ95033) 

出 版 物:《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期:2003年第25卷第1期

页      码:39-42页

摘      要:误差补偿作动器相位特性等动态性能对补偿控制系统有着非常重要的影响。该文在对压电陶瓷叠堆微位移作动器电压驱动过程分析的基础后,首次给出完整的相位特性分析,分析了影响压电陶瓷微作动器相位特性的三个主要因素及它们相应引起的相位滞后量。计算结果显示出机械结构引起的相位滞后占整个压电微作动器相位滞后量的主要成分。该文分析方法和结果有助于PMDA控制系统优化设计,并使机床误差实时补偿更有效、精确和容易。

主 题 词:压电陶瓷微位移作动器 相位滞后 机械结构 误差补偿 PMDA 

学科分类:080202[080202] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 

核心收录:

D O I:10.3969/j.issn.1004-2474.2003.01.012

馆 藏 号:203244115...

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