高分辨率平面测试仪的研制

作     者：覃胜 刘晓明 查晓辉 

作者机构：重庆大学电气工程学院重庆400044 重庆大学通信工程学院重庆400044 

出 版 物：《重庆大学学报（自然科学版）》 (Journal of Chongqing University)

年 卷 期：2003年第26卷第3期

页      码：71-73页

摘      要：在实际应用中 ,平面测试仪主要用于工件的微米级测试 ,从而检验工件是否合格。高分辨率和高稳定度是平面测试仪研制的两大关键技术。采用分辨率扩展的方法可以提高分辨率 ;同时利用单片机和复杂可编程逻辑器件 (CPLD)设计产生高稳定度的信号源 ,提高了系统的稳定度。内容包括工作原理 ,测试步骤和硬件设计 ,并介绍了提高精度的措施。主要由位移传感器 ,高稳定度信号源 ,单片机 ,信号处理单元四部分组成 ,具有高稳定度 ,高分辨率 ,低成本 ,操作简便的特点 。

主 题 词：平面测试仪 平面度 高分辨率 高稳定度 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-582X.2003.03.020

馆 藏 号：203244165...