薄膜宽度在线测量系统关键技术的研究

作     者：徐树兴 王宝光 郑义忠 XU Shu-xing;WANG Bao-guang;ZHENG Yi-zhong

作者机构：天津大学测量技术与仪器国家重点实验室天津300072 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2006年第19卷第6期

页      码：2478-2480页

摘      要：为满足生产现场薄膜宽度实时在线测量的需要,设计了并实现了高精度测量薄膜宽度的装置,系统利用稳功率的一字线形激光器照明,采用高分辨率线阵CCD作为传感器,物方远心成像光路接收以消除振动对测量影响,并采用“CPLD+MPU”硬件电路对输出信号处理,以确保测量精度.整个系统设计结构精简,实验证明了系统的可行性与健壮性.

主 题 词：薄膜宽度 线阵CCD 远心光路 在线检测 CPLD 

学科分类：08[工学] 080402[080402] 0804[工学-材料学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2006.06.029

馆 藏 号：203247696...