电渗驱动微泵设计初探

作     者：刘婷婷 高杨 李磊民 杨涛 LIU Ting-ting;GAO Yang;LI Lei-ming;YANG Tao

作者机构：西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900 

基　　金：国防基础研究项目资助 武器装备预研资助项目(51305070402) 中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目 西南科技大学学校青年预研基金项目(07zx3114) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2008年第21卷第2期

页      码：219-221页

摘      要：电渗驱动微泵是一种新型的微泵,具有输出压强高、流量可调范围宽、结构简单、无活动部件等特点,易与微通道热沉集成,构成微通道冷却系统,可用于集成电路的热管理。本文介绍了电渗驱动微泵的数学模型,利用PB方程来描述电渗流中电势和离子分布,讨论了背压与流速的关系,槽道宽度、工作液体温度、外加电压等参数对电渗泵性能的影响。

主 题 词：微电子机械系统 微泵 电渗流 双电层 

学科分类：080701[080701] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.007

馆 藏 号：203247696...