基于MEMS技术的气体热导传感器的应用研究

作     者：王浩宇 曹建 安晨光 WANG Haoyu;CAO Jian;AN Chenguang

作者机构：中南大学物理科学与技术学院长沙410083 北京华电云通电力技术有限公司北京100069 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2009年第22卷第7期

页      码：1050-1054页

摘      要：针对传统的气体热导检测器在气体检测应用中存在检测精度差、灵敏度低、温度漂移大的缺点,本设计采用新型的MEMS气体热导传感器,设计了一种高性能的气体浓度检测系统。设计了一种高精度的双恒流源电路对电桥供电,运用微信号检测技术和温度补偿手段,采取模拟滤波和数字滤波相结合的方法,有效的抑制了各种类型的噪声干扰,提高了系统测量的精度与灵敏度,实现了微量气体浓度的准确测量,克服了传统气体热导检测的缺点。

主 题 词：MEMS TCD TCS208F 滤波 噪声 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2009.07.027

馆 藏 号：203247696...