基于隧道效应振动梁式陀螺仪自检电极设计

作     者：王凌云 陈义华 孙道恒 WANG Ling-yun;CHEN Yi-hua;SUN Dao-heng

作者机构：厦门大学机电工程系福建厦门361005 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50275127) 福建省自然科学基金资助项目(A0110003) 福建省科技计划重点资助项目(2002H022) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2006年第25卷第5期

页      码：61-63,66页

摘      要：在微机电系统内建立自检系统是提高系统运行可靠性、安全性的重要手段之一。陀螺仪中的Coriolis力和其他惯性力存在一定的差别,即使在恒定的角速度输入下,Coriolis力也是一种动态变化的力。通过一对平板电极,其中,一个平板电极的边缘按照一定的函数变化,当陀螺仪的悬臂梁振动时,其平板间的静电力的变化能很好地模拟陀螺仪中的Coriolis力,有限元分析结果也表明:应用该方法完全能实现陀螺的自检和测试。

主 题 词：遂道效应 可靠性 自检 陀螺仪 平板电极 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2006.05.020

馆 藏 号：203247697...