纳米级压电微动台的设计研究

作     者：齐永岳 林玉池 张立 赵美蓉 QI Yong-yue;LIN Yu-chi;ZHANG Li;ZHAO Mei-rong

作者机构：天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50105016) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2009年第28卷第6期

页      码：53-55,58页

摘      要：提出了一种新颖的"推—拉"接力运动原理,并将其应用于纳米级步距压电微动台的设计中。该原理变传统的单驱动器结构为双驱动器结构,避免了运动过程中的悬空状态,配以适当的四路驱动信号,使压电微动台能够实现连续、平稳的运动。根据使用要求设计了驱动控制系统,通过C8051F单片机产生四路驱动信号,以保证压电微动台在不同频率和电压下进行工作,并实现了整个系统的闭环控制。

主 题 词：尺蠖运动 压电马达 微驱动 微定位 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2009.06.018

馆 藏 号：203247697...