多层膜镀制过程中监控片的最优化更换策略

作     者：张晓晖 刘启忠 高晓丹 

作者机构：海军工程大学军用光电工程教研室湖北武汉430033 

出 版 物：《光电子．激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)

年 卷 期：2004年第15卷第12期

页      码：1415-1418页

摘      要：研究了分离法监控多层膜淀积时监控片的更换策略问题。分析了不同的监控片更换策略对所淀积薄膜光学特性的影响,得出了监控片的更换策略也是决定所镀制光学薄膜成功与否的关键因素之一的结论。提出了利用最优化原理和计算机模拟薄膜淀积来确定多层膜镀制过程中监控片的最优化更换策略的新方法,并设计了相关的计算机程序。在基于反射率极值法监控的镀膜机上进行的实验结果表明:用设计的程序可得到一定工艺条件下镀制多层规整膜系时应采取的监控片更换策略。这对于多层膜的实际镀制具有指导意义。

主 题 词：更换策略 多层膜 薄膜光学 光学薄膜 最优化原理 反射率 极值法 薄膜淀积 膜系 监控 

学科分类：080903[080903] 12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 070105[070105] 0701[理学-数学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1005-0086.2004.12.007

馆 藏 号：203248084...