SiO2／聚合物Y分支波导型热光开关研究

作     者：赵世民 丛隆元 韩超 赵洪涛 王菲 陈长鸣 孙小强 张大明 

作者机构：吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区吉林省光通信用聚合物波导器件工程实验室吉林长春130012 中国科学院长春应用化学研究所吉林长春130022 

基　　金：国家自然科学基金(61177027,61107019,61077041) 吉林省科技发展计划(20110315) 中国博士后基金(2011M0491299,2012M510900) 吉林省青年科研基金(20100174) 吉林大学基本科研业务费专项资金(201100253,201103071) 集成光电子学国家重点联合实验室开放课题(IOSKL-KFKT-11)联合资助项目 

出 版 物：《光电子．激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)

年 卷 期：2013年第24卷第2期

页      码：253-257页

摘      要：为提高波分复用(WDM)光通信网中核心器件光开关的响应速度,设计并制备了SiO2/聚合物复合型Y分支结构波导热光开关。器件选择具有高热导率的SiO2作为波导的下包层,低成本的聚甲基丙烯酸甲脂-甲基丙烯酸环氧丙酯共聚物(P(MMA-GMA))作为芯层和上包层,利用束传播法模拟和优化Y分支波导的设计,通过光刻、刻蚀和蒸发等传统半导体工艺进行器件制备。实验测得开关插入损耗为12dB,消光比为18dB,方波驱动的上升和下降响应时间均为200μs。实验结果表明,SiO2/聚合物复合波导结构可有效提高热场的扩散速度和折射率调节效率,减小开关的响应时间。

主 题 词：热光效应 Y分支 数字型开关 有机聚合物 SiO2 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.16136/j.joel.2013.02.003

馆 藏 号：203248084...