高分辨率显示用小孔设计技术

作     者：曲连杰 郭建 史大为 陈旭 闵泰烨 杨莉 QU Lian-jie;GUO Jian;SHI Da-wei;CHEN Xu;MIN Tai-ye;YANG Li

作者机构：北京京东方光电科技有限公司北京100176 北京京东方科技集团股份有限公司北京100176 

出 版 物：《液晶与显示》 (Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays)

年 卷 期：2015年第30卷第2期

页      码：246-250页

摘      要：为了满足市场对显示产品高分辨率的要求,需要从产品的设计和工艺各个方面进行优化,其中过孔尺寸和线宽两个因素对阵列基板分辨率影响最大,本文通过相移掩模技术可以实现对过孔尺寸的精确控制,通过在普通过孔上增加一定厚度和透过率的相移层,并对各种参数下过孔的光透过率进行模拟分析,可以获得不同相移层参数对过孔特性的影响,最后提出一种可以获得稳定微小过孔的方法。结果表明,通过对相移层透过率和宽度的控制,可以获得对曝光光强不敏感的稳定微小过孔,曝光量增大一倍乃至数倍的过程中,过孔尺寸始终保持稳定,提高了工艺容忍度。对于模拟中过孔尺寸可以小于设备的4μm分辨极限。通过减小过孔尺寸,可以有效提升TFT显示产品的开口率,实现产品对高分辨率的要求。

主 题 词：薄膜晶体管液晶显示器 过孔 高分辨率 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 0810[工学-土木类] 070207[070207] 0804[工学-材料学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0703[理学-化学类] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3788/yjyxs20153002.0246

馆 藏 号：203250110...