真空沉积掺杂制备PARYLENE功能薄膜研究

作     者：何庆 刘景全 杨春生 李以贵 芮岳峰 HE Qing;LIU Jing-quan;YANG Chun-sheng;LI Yi-gui;RUI Yue-feng

作者机构：上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 

基　　金：国家自然科学基金(60876082) 上海市科委纳米专项(0852nm06600) 上海市教委曙光计划(08SG13) 航空科学基金(2008ZE57019) 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2011年第48卷第1期

页      码：18-20页

摘      要：本文介绍了高分子材料PARYLENE的真空沉积机理及其优越性和不足。提出了一种在PARYLENE真空沉积过程中引入机械掺杂制备具有特定功能的PARYLENE高分子薄膜的方法并给出了掺杂试验设备设计方案。最后提出了影响机械粉体掺杂效果的几个因素。

主 题 词：Parylene 真空沉积 干法掺杂 纳米粉体 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.2011.01.004

馆 藏 号：203250499...