硅-蓝宝石绝压传感器陶瓷密封结构设计与分析

作     者：姚东媛 夏航 王俊巍 谢胜秋 YAO Dong-yuan;XIA Hang;WANG Jun-wei;XIE Sheng-qiu

作者机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150001 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2017年第36卷第8期

页      码：65-68页

摘      要：介绍了硅-蓝宝石绝压传感器中氧化铝陶瓷-钛合金的真空密封参考腔小型化结构设计,探讨了异质材料不匹配引起的陶瓷断裂问题,对陶瓷-钛合金封装结构的应力情况进行了计算和分析,通过中间缓冲层设计、减小陶瓷承受的结构残余应力,消除了由陶瓷断裂导致的密封失效;选择热胀系数相近的可伐中间层材料,对比不同厚度缓冲层产生的残余应力,优化中间层结构,采用LTCC加工技术与真空钎焊工艺结合制作了陶瓷-可伐-钛合金密封组件,并通过了高、低温度试验考核:组件密封漏率小于1×10^(-10)Pa·m^3/s,密封可靠,满足绝压传感器使用寿命的要求。

主 题 词：硅-蓝宝石 绝压传感器 氧化铝陶瓷 真空密封结构 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2017)08-0065-04

馆 藏 号：203254257...