基于QCM的湿度传感器等效电路模型研究

作     者：郭剑锋 刘庆辉 郑国恒 杨洁 时朝晖 GUO Jian-feng;LIU Qing-hui;ZHENG Guo-heng;YANG Jie;SHI Zhao-hui

作者机构：郑州大学物理工程学院河南郑州450001 

基　　金：河南省科技攻关计划资助项目(162102210018) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2017年第36卷第8期

页      码：29-31页

摘      要：基于石英晶体微天平(QCM)的湿度传感器是一种以石英晶体为核心元件的新型高灵敏度传感器。根据气相中晶体振荡电路的起振和稳定条件,对晶体表面敏感薄膜吸附水分时等效电路参数的变化进行建模,得到了一种新型的基于QCM的湿度传感器等效电路模型。通过电路仿真软件PSPICE对模型进行仿真,并搭建QCM湿度传感器实验测量平台,结果验证了基于QCM的湿度传感器等效电路模型的有效性和正确性,对QCM湿度传感器的振荡电路的进一步设计和优化具有指导意义。

主 题 词：石英晶体微天平 湿度传感器 PSPICE仿真 等效电路模型 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0835[0835] 081002[081002] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2017)08-0029-03

馆 藏 号：203254480...