特大非球面度离轴非球面补偿器结构设计与装调

作     者：武中华 袁吕军 朱永田 何丽 Wu Zhonghua;Yuan Lüjun;Zhu Yongtian;He Li

作者机构：中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所江苏南京210042 中国科学院天文光学技术重点实验室江苏南京210042 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家自然科学基金(11203049) 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2017年第38卷第4期

页      码：639-643页

摘      要：针对快焦比特大非球面度离轴非球面反射镜,设计了3片式Offner补偿器。为应对3片式补偿器对中心偏差及镜间隔严格的公差要求,设计了相应的补偿器镜筒结构。该结构使透镜中心倾斜及平移调整相分离,实现补偿器的高精度装调。根据中心偏差测量仪的测量结果,2片补偿镜之间倾斜误差4.4″,平移误差3.5μm,镜间隔误差3.8μm;补偿镜组与场镜之间倾斜误差5.3″,平移误差4.2μm,镜间隔误差7.2μm,满足检测使用要求。利用该补偿器及4D动态干涉仪对精抛光阶段的离轴非球面进行检测,面形结果PVq值达到0.135λ,RMS值达到0.019 5λ,优于设计要求。

主 题 词：光学检测 离轴非球面 零位补偿器 镜筒结构设计 补偿器装调 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.5768/JAO201738.0405003

馆 藏 号：203254495...