静电吸盘吸附技术建模与仿真系统设计

作     者：魏宏杰 潘昭海 江冰松 马成爽 朱文彬 

作者机构：新型功率半导体器件国家重点实验室湖南株洲412001 

出 版 物：《设备管理与维修》 (Plant Maintenance Engineering)

年 卷 期：2017年第9期

页      码：40-43页

摘      要：半导体设备中常用静电吸盘的原理,通过在LABVIEW软件中仿真得出设备最佳运行状态下的相关参数。分析单极和双极静电吸盘的模型建立过程,研究Varian 810离子注入机的六相静电吸盘的原理及其使用中夹持电压、冷却气体等对产品良率的影响,提出生产过程的监控参数。

主 题 词：静电吸盘 建模 离子注入 仿真 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2017.07D.20

馆 藏 号：203254858...