基于光学聚焦方法的热驱动微执行器位移测量

作     者：缪磊 董再励 陈浩然 李文荣 王越超 MIAO Lei;DONG Zai-li;CHAN Ho-yin;LI Wen-rong;WANG Yue-chao

作者机构：中国科学院研究生院北京110039 中国科学院沈阳自动化所机器人学重点实验室辽宁沈阳110016 香港中文大学微纳米技术中心 

基　　金：国家863计划资助项目(2002AA431620) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2005年第34卷第6期

页      码：691-695页

摘      要：随着微机电系统(MEMS)设计日趋成熟,度量问题越来越成为微系统技术中的热点。使用改进的拉普拉斯求和方法(SML)和深度估计法来测量热度驱动微夹持器末端的弯曲程度。实验中,使用了10幅在42℃时微夹持器的水下工作图像来验证这种光学聚焦方法,结果证明使用光学聚焦方法可以测量出作为驱动器反馈输入的末端弯曲大小,实现对驱动器运动的精确控制。

主 题 词：微机电系统 SML算法 深度估计 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0704[理学-天文学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-2276.2005.06.014

馆 藏 号：203254878...