四极质谱仪真空系统设计

作     者：赵加鹏 龙希伟 宋春丽 李芳 陈宁 ZHAO Jia-peng LONG Xi-wei SONG Chun-li LI Fang CHEN Ning

作者机构：中国船舶重工集团公司第七一八研究所河北邯郸056027 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2017年第54卷第4期

页      码：13-17页

摘      要：四极质谱仪作为科学分析仪器中的高端产品,具有广泛的应用领域。仪器工作时需要处于高真空状态,同时还需从大气压下引入样品进行分析。本文采用两级梯度真空的设计方法对真空系统进行设计,解决了分析样品进样的真空过渡。通过流导、漏率等方面计算以及真空系统的要求确定了各真空元器件的结构形式和规格型号。最后,搭建真空系统进行了实验验证。

主 题 词：四极质谱仪 梯度真空 真空系统 流导 漏率 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.2017.04.03

馆 藏 号：203255087...