FIB系统

作者机构：FEI Co. 

出 版 物：《集成电路应用》 (Application of IC)

年 卷 期：2006年第23卷第10期

页      码：53-53页

摘      要：聚焦离子束分析系统V600FIB设计上力求灵活、简便以满足高产能的需求。针对65纳米乃至更先进技术节点的应用，设备提供了先进的电路矫正功能。依靠快速资料撷取功能，设备能够帮助半导体公司缩短了芯片的调试周期并最终完成芯片设计，进而迅速实现量产。V600FIB采用FEI独有的Sidewinder 30kV离子束，通用的气体输送系统，以及一个可倾斜的5轴载物台用于定点截面的实效分析。设备将取代本公司的FIB200系列产品。

主 题 词：输送系统 FIB 离子束分析 半导体公司 芯片设计 200系列 技术节点 实效分析 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203255106...