应用于MEMS压力传感器的读出芯片设计

作     者：魏榕山 黄海舟 WEI Rong-shan;HUANG Hai-zhou

作者机构：福州大学物理与信息工程学院福建福州350116 

基　　金：国家自然科学基金(61404030) 

出 版 物：《中国集成电路》 (China lntegrated Circuit)

年 卷 期：2017年第26卷第8期

页      码：42-45,48页

摘      要：基于斩波技术和开关电容结构,研究并设计一款用于MEMS压力传感器的低噪声、高精度读出芯片。在经典三运放结构的基础上增加了斩波开关,并在传统自调零结构上进行改进,引入一种开关电容滤波器,实现对失调电压的消除。采用SMIC 0.18μm CMOS工艺,对所设计的电路进行仿真验证。仿真结果表明,在不同增益情况下,输出端的增益误差均小于0.1%;在0~650Hz范围内,等效输入噪声小于600nV,满足MEMS压力传感器输出信号的分辨率的要求。

主 题 词：压力传感器 读出电路 失调消除 斩波技术 自调零 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1681-5289.2017.08.009

馆 藏 号：203255274...