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高精度压电陶瓷驱动电源的研制

高精度压电陶瓷驱动电源的研制

作     者:佘玉成 张春熹 李慧鹏 SHE Yu-cheng;ZHANG Chun-xi;LI Hui-peng

作者机构:北京航空航天大学仪器科学与光学工程学院北京100191 

基  金:国家重大仪器设备开发专项(编号:2013YQ040877) 

出 版 物:《导航与控制》 (Navigation and Control)

年 卷 期:2017年第16卷第1期

页      码:69-73页

摘      要:为进一步提高压电陶瓷微位移系统的定位精度,设计了一种以PA93高压运放器为核心的高精度、稳定性好的大功率压电陶瓷驱动电源。重点阐述了系统设计方案,并对其中的关键技术和特性功能进行了分析讨抡。实验结果表明,该驱动电源具有精度高、输出电流大、响应速度快、稳定性好的特点。当压电陶瓷等效容性负载为3μF时,能在1KHz内实现0V^10V到0V^100V的动态放大,电压输出精度可达0.1mV。

主 题 词:压电陶瓷 驱动电源 高压运放 大功率 

学科分类:080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D O I:10.3969/j.issn.1674-5558.2017.01.013

馆 藏 号:203255275...

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