基于硅尖阵列的SF_6传感器制备及特性研究

作     者：李璐 张金英 杨天辰 何秀丽 陈硕 郑天祥 LI Lu ZHANG Jin-ying YANG Tian-chen HE Xiu-li

作者机构：全球能源互联网研究院北京102211 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京100190 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2017年第7期

页      码：15-19页

摘      要：针对电气设备中SF_6气体泄漏监测的需求,设计制备了基于硅尖阵列的SF_6传感器。完成了基于硅尖阵列的多针-板型负电晕放电气体传感器结构设计,主要包括硅尖阵列负电极、Au平板正电极、绝缘隔离层3部分。利用物理场有限元仿真软件COMSOL分析了针尖高度、针尖距离及电极间距对电场分布的影响,优化了器件结构参数。介绍了硅尖阵列负电极及Au平板正电极的MEMS工艺流程,完成了传感器的封装。搭建了测试系统,在不同湿度条件下测试了器件对0~100 ppm SF_6气体的响应。结果表明,设计制备的基于硅尖阵列的多针-板型电晕放电传感器可用于SF_6气体检测。

主 题 词：硅尖阵列 多针-板 MEMS 负电晕放电 SF6传感器 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2017.07.005

馆 藏 号：203255473...