Si微陀螺结构与接口电路的混合仿真

作     者：兰靖 苑伟政 常洪龙 周志广 崔金强 Lan Jing;Yuan Weizheng;Chang Honglong;Zhou Zhiguang;Cui Jinqiang

作者机构：西北工业大学微/纳米系统重点实验室西安710072 

基　　金：航空科学基金项目(20070853012) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2009年第46卷第8期

页      码：477-483页

摘      要：为了快速有效地验证接口电路的可行性,对Si微陀螺建模方法及陀螺结构与接口电路的混合仿真方法进行了研究。在Si微陀螺动力学特性分析的基础上,利用硬件描述语言建立一种以低阶微分方程描述的Si微陀螺解析模型,该模型利用Si微陀螺运动特性来描述陀螺模态之间的耦合行为。利用该模型实现了陀螺结构与接口电路的快速混合仿真。对Si微陀螺自激控制环路进行分析制作了实验电路板,并对电路仿真结果进行了实验验证,测试结果与仿真结果趋势一致。实验表明,该方法能够快速有效地验证接口电路的可行性,为设计Si微陀螺接口电路提供了依据。

主 题 词：Si微陀螺 自激驱动 微机电系统 解析模型 硬件描述语言 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 080203[080203] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-4776.2009.08.007

馆 藏 号：203256167...