电磁型微马达的微转子研究

作     者：杨春生 赵小林 丁桂甫 余晋岳 

作者机构：上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细技术教育部开放实验室上海200030 

出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)

年 卷 期：1999年第4期

页      码：47-50,46页

摘      要：简要介绍了直径２ｍ ｍ 电磁型微马达的结构和磁路。对微转子的设计和加工，多微磁极的写（ 充） 入和均匀性进行分析和讨论。测量了不同充磁条件下的微转子剩余磁化强度和微转子之间的吸力。

主 题 词：微电机 微转子 充磁 微机电系统 电磁型 

学科分类：0711[理学-心理学类] 080801[080801] 0808[工学-自动化类] 07[理学] 08[工学] 081104[081104] 0811[工学-水利类] 071102[071102] 081103[081103] 

馆 藏 号：203256950...