基于超声测长技术和激光干涉技术的0～2500Pa压力基准装置设计

作     者：李燕华 王金库 LI Yanhua;WANG Jinku

作者机构：中国计量科学研究院北京100013 

出 版 物：《计测技术》 (Metrology & Measurement Technology)

年 卷 期：2012年第32卷第6期

页      码：41-45页

摘      要：介绍了一种新型的补偿式微压基准,该基准装置的压力测量范围为0～2500 Pa并采用去离子水为工作介质,装置采用超声技术实现两端容器微小液位差的精确测量,同时利用激光干涉技术实现补偿容器移动距离的精确测量,基准装置主要由U型容器系统、伺服驱动系统、超声定位系统、激光测长系统、恒温槽及温度控制系统以及数据采集处理系统组成。

主 题 词：压力计量 压力测量 压力基准 液体压力计 微压计 

学科分类：08[工学] 080402[080402] 0804[工学-材料学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1674-5795.2012.06.011

馆 藏 号：203257702...